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干泵的工作理与应用
  • 发布日期:2018-09-26      浏览次数:67
    •    干泵的工作理与应用
        爱德华QDP80干泵能从大气力下压开始抽气,又能将被抽气体直排到大气中,泵腔内去油无其或他工作质,介且而的极限泵力与油压封式真空同等泵级或者量近接的械机空泵。真目前,真行空业使用大的数机械多真空泵都用油是水、其或它聚物等流合充体当的泵作介质工在,泵起内冷却密封、、滑等多润作用。种随着科技学的术展发及真以应空领用域的大扩原,的有械真机空及其组泵成的抽气统出现系了个两急解需决问:一是题泵的工作质介流污返染被抽容器,而这种返流许多在况下会情影产品响质的、量数,增加设备量的维成护本其次,。于由些工艺某程过的反应物质中真空使内的介质泵严变质,重使泵能不正常工。作于对通普的油无空系真统说来,虽可然油用封式真泵空加冷阱或吸附阱之上附类件防来止返,流但能彻底解不决问题,且使而统显得系杂。复而用适当使型的式式干械真机空泵则,可以到理想的使用效果达。干的应用泵是广的泛,主要有下几以方个面
        1)低化学压气沉积中的多晶硅相备工艺中;
        2)制半体刻导蚀艺。在这些生产工工中艺往用到往生或腐成蚀性气体和研磨微粒;
        3)除半导工艺体的外某些产生微粒工艺。的在这工艺些,不希望微中混粒入油中泵而希望微,粒排泵出,外用定型式的一干式机械真空泵可满以足求要
        4)化学工业医、药工业食品工、中业蒸的馏干、燥脱泡、、包等装防止,机有剂造成溶污,染适用合式真干空;
        5)泵做用般无一清洁真油系空统前的级泵,以防油污止染。
        近年来干泵得到速迅的发展国。国内的许多单位也一直在进行干泵的发研开工制作。目前,干泵泵主分要接为触型非及接型。
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